מאמר זה משתרע על פני החשיבות והדחיפות של קידום פיתוח תעשיית ה-IC ועד לטכנולוגיה המרכזית של בקרת זיהום סביבתי פני השטח של פרוסות IC (SECC). לאחרונה, IRDS 2020 הציג בבירור את ההסבר המרכזי על שיפור התפוקה, תוך הצביעה על כך שזיהום מולקולרי הנישא באוויר (AMC) הוא גורם חשוב הגורם לפגמים אקראיים בפרוסות מעגליות, והשפעה זו תחמיר עם הירידה ברוחב קו הפרוסות. במאמר זה, דרישות הטכנולוגיה לבקרת זיהום סביבתי פני השטח בין השנים 2021 ל-2027 מפורטות בהתאם לריכוז הבקרה המותר של מזהמי אוויר שונים בכל תהליך ייצור, והוא מבוטא ב-ppTV. בשל תקן הבקרה המחמיר, נדרש תכנון של מערכת אוורור לבקרת זיהום כימי בחדרים נקיים ובסביבות מבוקרות נלוות, בחירת מסנן אוויר כימי, הגדרה ודרישות ביצועים. יש לבצע זאת בקפדנות בהתאם לתקן. בנוסף, מדדי הביצועים של מסנן אוויר כימי, מתקן בדיקה של מסנן ונהלי בדיקה בתקן ASHRAE 145.2-2016 ותכנים נוספים מפורטים. הוצג.

או שנוכל להגשים את חלומות הניקיון על ידי מגבים לחדר נקי אני חושב שהתשובה היא כן.